《真空科学与技术学报》（月刊）创刊于1981年，由中国真空学会主办。本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
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综述评述、研究快报、研究论文
1、微波管电子束的模拟计算姬乃军;吴迅雷;张兆
2、新法真空铝热还原炼镁的研究尤晶;王耀武;冯乃祥
3、Cu薄膜三维生长的Monte Carlo模拟朱?国;毛文
4、被动型氢原子钟吸气剂泵的应用研究杨浩;戴家瑜;林传富
5、非蒸散型薄膜吸气材料研究进展卜继国;毛昌辉;张艳;尉秀英;杜军
6、矩形离子阱质量分析过程的数值模拟白传易;孙琦;顾昌鑫;单莉英
7、球性食品真空冷却非稳态过程的数值分析韩志;谢晶;潘迎捷
8、氟化非晶碳膜结构的Raman和FTIR研究肖剑荣;蒋爱华
9、柱形单极表面波等离子体天线控制模型研究吕军慰;陈自力;李迎松
10、真空蒸馏铅阳极泥制备粗锑的研究李亮;刘大春;杨斌;徐宝强;唐万启
11、TiC/DLC多层膜的制备及组织形态肖晓玲;张馨;李福球;侯惠君;林松盛
12、钢板锌镁镀层制备及退火工艺对锌镁合金化的影响马进;贾晓明;沈杰
13、伴有二次电子发射的磁化等离子体鞘层结构特性赵晓云;刘金远;段萍;李世刚
14、真空蒸馏法从粗铟中脱除镉锌铊铅的研究李冬生;杨斌;刘大春;邓勇;徐宝强
15、氧化镁真空碳热还原法炼镁的工艺研究田阳;刘红湘;杨斌;曲涛;戴永年;彭鹏
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